透過型電子顕微鏡

電界放出形透過型電子顕微鏡　JEOL JEM-2010F

透過型電子顕微鏡（Transmission Electron Microscopy: TEM）は，試料に電子線を照射し，透過電子の情報から物質の組織や構造を観察するための装置。走査型電子顕微鏡（scanning Electron Microscopy: SEM）が物質表面の情報を得るのに適しているのに対して，TEMは物質内部の情報を得るのに適しています。TEMでは結晶粒子の格子の配列（ナノメートルオーダー）だけでなく，条件次第では原子ひとつひとつの直接観察も可能。また，電子線は波としての性質も持っているので，回折現象を利用して結晶方位や対称性を得ることができ，転位（dislocation）や積層欠陥（stacking faulf），反位相構造（anti-phase domain structure）などの情報が得られる。本装置は電界放出型の電子銃を装備しており，試料上で電子線を収束させた回折パターンを得ることができる。また，本装置にはEDXとSTEM機能が装備されているため，ナノスケールでの化学組成分析やマッピングが可能となっている。

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透過型電子顕微鏡　JEOL JEM-2100

本装置も透過型電子顕微鏡だが，電子銃がLaB6フィラメントとなっており，電界放出型にくらべて輝度，電子線収束率がやや劣る。一方で，各機能がPCで一元的に管理されている汎用型となっており，操作が比較的簡単という利点がある。分析装置が付属していないが，付属の高感度CCDで微細組織観察が容易に行える。（この機種に付属しているEDXについてはマッピング機能無し）

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