走査型電子顕微鏡

走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscopy）は試料表面に細く絞った電子線を照射・走査して得られた信号をスクリーンに結像することで拡大像を得ます。通常は大きさ1ミクロン以上の粒子の形状，組織，化学組成を調べるのに適していますが，調整によって1ミクロンを下回る粒子の観察も可能です。

物性研究所電子顕微鏡室では2台の走査型電子顕微鏡が稼働しています。
分析にはIT100SEMを利用ください。
5600SEMは拡大鏡としての利用のみになります。
SEM写真館には各装置で撮影したSEM写真をおいているので，性能などの参考にしてください。

JEOL JEM IT-100

JEOL JSM-5600

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走査型電子顕微鏡(JEOL JEM IT-100) with EDX

Wフィラメント，加速電圧：0.5-20kV，倍率：~30万倍，分解能：4-15nm(20-1kV)，EDX：Be~Uまで検出可能。

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走査型電子顕微鏡(JSM-5600)

Wフィラメント，加速電圧：0.5-30kV，倍率：~30万倍，分解能：4-15nm(20-1kV)。
*WDX・EDXを装備していましたが、故障に伴い停止しました。
分析はIT100SEMを利用ください。
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