走査型電子顕微鏡（Scanning Electron Microscopy）は試料表面に細く絞った電子線を照射・走査して得られた信号をスクリーンに結像することで拡大像を得ます。通常は大きさ1ミクロン以上の粒子の形状，組織，化学組成を調べるのに適していますが，調整によって1ミクロンを下回る粒子の観察も可能です。
SEM写真館には各装置で撮影したSEM写真をおいているので，性能などの参考にしてください。
走査型電子顕微鏡(JEOL JEM IT-100) with EDX
Wフィラメント，加速電圧：0.5-20kV，倍率：~30万倍，分解能：4-15nm(20-1kV)，EDX：Be~Uまで検出可能。