走査型電子顕微鏡
走査型電子顕微鏡(Scanning Electron Microscopy)は試料表面に細く絞った電子線を照射・走査して得られた信号をスクリーンに結像することで拡大像を得ます。通常は大きさ1ミクロン以上の粒子の形状,組織,化学組成を調べるのに適していますが,調整によって1ミクロンを下回る粒子の観察も可能です。
物性研究所電子顕微鏡室では2台の走査型電子顕微鏡が稼働しています。
分析にはIT100SEMを利用ください。
5600SEMは拡大鏡としての利用のみになります。
SEM写真館には各装置で撮影したSEM写真をおいているので,性能などの参考にしてください。
JEOL JEM IT-100 | JEOL JSM-5600 |
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走査型電子顕微鏡(JEOL JEM IT-100) with EDX
Wフィラメント,加速電圧:0.5-20kV,倍率:~30万倍,分解能:4-15nm(20-1kV),EDX:Be~Uまで検出可能。
走査型電子顕微鏡(JSM-5600)
Wフィラメント,加速電圧:0.5-30kV,倍率:~30万倍,分解能:4-15nm(20-1kV)。
*WDX・EDXを装備していましたが、故障に伴い停止しました。
分析はIT100SEMを利用ください。
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