装置近況

• ここでは各装置の近況を報告していきます。
• 予約表なども参考に装置の状況を把握し、利用計画を立ててください。

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2010FTEM

利用できます。

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2100TEM

利用できます。

3/17-6/4：電子銃室内の放電のため利用停止。電子銃および高圧TANKの交換で対応。
6/1-25：停止中、エアコン異常によるチラー熱暴走のため
11/21：基盤の交換にて復旧
11/11：Gonioの不調、特にZおよびTiltX,Y。スタックした後、Sub systemの再起動でも復旧しないor一方向のみ不動など。メーカーに連絡済み。現時点で復旧スケジュール未定。

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IT100SEM

利用できます。

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5600SEM

利用を終了しました。

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イオンスライサー

利用できます。