装置近況
- ここでは各装置の近況を報告していきます。
- 予約表なども参考に装置の状況を把握し、利用計画を立ててください。
2010FTEM
利用できます。
2100TEM
利用できます。
3/17-6/4:電子銃室内の放電のため利用停止。電子銃および高圧TANKの交換で対応。
6/1-25:停止中、エアコン異常によるチラー熱暴走のため
11/21:基盤の交換にて復旧
11/11:Gonioの不調、特にZおよびTiltX,Y。スタックした後、Sub systemの再起動でも復旧しないor一方向のみ不動など。メーカーに連絡済み。現時点で復旧スケジュール未定。
IT100SEM
利用できます。
5600SEM
利用を終了しました。
イオンスライサー
利用できます。
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